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產(chǎn)品分類
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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：QUARK準(zhǔn)分子UV照射裝置

  • 產(chǎn)品型號：QEF-A4
  • 產(chǎn)品廠商：QUARK夸克
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
QUARK準(zhǔn)分子UV照射裝置QUARK準(zhǔn)分子UV照射裝置QUARK準(zhǔn)分子UV照射裝置
詳情介紹：
江西省江崎貿(mào)易有限公司
營業(yè)部陳先生
I37I706I088/I339799788I
網(wǎng)站：gz-chuangli.cn

網(wǎng)站：www.esaki.com.cn



用途

UVオゾン洗浄 ドライエッチング / ソフトアッシング UVアニール 表面改質(zhì) レジスト殘渣除去 ガラス貼り合せ 光CVDなど成膜

仕様

波長 172nm
照射開口 220×310mm
*大照度 70mW/cm2
分布 ±7%
ユーティリティ N2、冷卻水、AC200V
機(jī)能 真空対応可能、照度モニタ、フィードバック制御


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